歷時6年的研發，荷蘭飛納公司于2018年推出了首套穩定運行的臺式場發射（FEG）電鏡能譜一體機Phenom LE臺式場發射電鏡能譜一體機，采用肖特基場發射電子槍（FEG），集背散射電子成像、二次電子成像和能譜分析于一體。飛納臺式場發射電鏡操作簡單，效率高，無需防震臺和磁屏蔽，無樓層要求，只需要一張承重200kg的桌子。
飛納臺式場發射電鏡能譜一體機zhuan利腔室設計得到*的探測角度和工作距離，顯著提高X射線的收集效率。該能譜采用穩定堅固的超薄Si3N4窗口，透過率在0.26-0.6 KeV低能量范圍，是聚合物窗口的2-3倍，適合輕元素檢測和低電壓能譜分析。全能量范圍平均透過率比聚合物窗口高35%，進一步提高了能譜儀的X射線計數率。
儀器特點：
1、高分辨臺式場發射電鏡：肖特基場發射電子源，分辨率優于2.5nm@15kV
2、zui快的場發射掃描電鏡:內置真空鎖，15s抽真空,實時導航，全面跟蹤樣品
3、使用zui方便的場發射電鏡：30分鐘培訓即可上手，無需噴金直接觀察不導電樣品
4、場發射電鏡能譜一體機：原廠集成能譜儀，B(5)-Am(95)元素探測
5、升級功能：飛納臺式場發射電鏡能譜一體機可選配所有的樣品杯硬件選件，還可選配孔徑、顆粒、纖維統計分析測量系統和3D粗糙度重建等軟件選件。
Phenom LE臺式場發射電鏡能譜一體機主要參數：