Phenom ProX是第五代電鏡能譜一體機，是*的集成化成像分析系統，分辨率提升 20%，進一步增加應用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。借助該系統，既可觀察樣品的表面形貌，又可分析其元素組分。研究樣品時，得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設計的能譜探測器，飛納電鏡能譜一體機 Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。能譜儀是一種基于樣品被電子束激發而產生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是*集成設計在飛納 Phenom ProX 系(xi)統中。Element Identification (EID) 軟件可(ke)以使(shi)用(yong)戶(hu)實現多點(dian)分(fen)(fen)析(xi)，檢測樣(yang)品的元素組分(fen)(fen)。此(ci)外(wai)，該軟件還可(ke)以擴展到元素分(fen)(fen)析(xi)線面掃（mapping）功能。分(fen)(fen)步操作(zuo)界面可(ke)以幫助(zhu)用(yong)戶(hu)更方便地收(shou)集、導出分(fen)(fen)析(xi)數據。